Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Литвинов Егор Алексеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//3560(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Литвинов, Е. А
Опубликовано: Минск , 2012
Физические характеристики: 208 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

Зал диссертаций

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно Без заказа

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
26Н//3560(039) Зал диссертаций (020) 02 СВОБОДЕН БЕЗ ПРЕДВАРИТЕЛЬНОГО ЗАКАЗА