Разработка измерительного комплекса для контроля и исследования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Орешков Максим Викторович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Орешков, М. В. |
Опубликовано: | Москва , 2012 |
Физические характеристики: |
19 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|