Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ковальчук Наталья Станиславовна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ковальчук, Н. С. |
| Опубликовано: | Минск , 2012 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||