|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
001 |
BY-NLB-br0000792642 |
005 |
20220414180555.0 |
100 |
# |
# |
$a 20120508d1979 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Нанесение тонких окисных пленок реактивным распылением на постоянном токе для некоторых применений в микролектронике
$f В. Орлинов, Б. Горанчев
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$c [б. и.]
$d 1979
|
215 |
# |
# |
$a 12, [10] с., включая обложку
$c ил., табл.
$d 22 см
|
225 |
1 |
# |
$a Дни болгарской науки и техники, г. Минск, 20―30 ноября 1979 г.
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1756760
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659663
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2722583
$a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793.18
$v 4
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 621.793.182:621.315.592:661.8'02
$v 4
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 621.793.182:621.315.61:661.8'02
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 55.22
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5207571
$a Орлинов
$b В. И.
$g Виктор И.
$c физика
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar5230518
$a Горанчев
$b Б.
$c физика
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120508
$g psbo
|