Нанесение тонких окисных пленок реактивным распылением на постоянном токе для некоторых применений в микролектронике / В. Орлинов, Б. Горанчев

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//347543(039),
Вид документа: Книги
Автор: Орлинов, В. И.
Опубликовано: Минск : [б. и.] , 1979
Физические характеристики: 12, [10] с., включая обложку : ил., табл. ; 22 см
Язык: Русский
Серия: Дни болгарской науки и техники, г. Минск, 20―30 ноября 1979 г.
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0000792642
005 20220414180555.0
100 # # $a 20120508d1979 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Нанесение тонких окисных пленок реактивным распылением на постоянном токе для некоторых применений в микролектронике  $f В. Орлинов, Б. Горанчев 
210 # # $a Минск  $c [б. и.]  $d 1979 
215 # # $a 12, [10] с., включая обложку  $c ил., табл.  $d 22 см 
225 1 # $a Дни болгарской науки и техники, г. Минск, 20―30 ноября 1979 г. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1756760  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777100  $a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793.18  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793.182:621.315.592:661.8'02  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793.182:621.315.61:661.8'02  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar5207571  $a Орлинов  $b В. И.  $g Виктор И.  $c физика 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar5230518  $a Горанчев  $b Б.  $c физика 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120508  $g psbo