Нанесение тонких окисных пленок реактивным распылением на постоянном токе для некоторых применений в микролектронике / В. Орлинов, Б. Горанчев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Орлинов, В. И. |
| Опубликовано: | Минск : [б. и.] , 1979 |
| Физические характеристики: |
12, [10] с., включая обложку : ил., табл. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Дни болгарской науки и техники, г. Минск, 20―30 ноября 1979 г.
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||