III Всесоюзная конференция "Ионно-лучевая модификация полупроводников и других материалов микроэлектроники", Новосибирск, 4―6 июня 1991 г.: (программа и тезисы докладов)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | [Новосибирск] : СО АН СССР , 1991 |
| Физические характеристики: |
149 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||