Формирование пленочных структур золь-гель методом, их свойства и применение в микроэлектронике: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Гапоненко Николай Васильевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Гапоненко, Н. В. (род. 1962) |
Опубликовано: | Минск , 2004 |
Физические характеристики: |
248 л. : ил., цв. ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|