Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Песков Вадим Вячеславович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//129935(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Песков, В. В.
Опубликовано: Фрязино , 2012
Физические характеристики: 25 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//129935(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:90 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал