Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Песков Вадим Вячеславович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Песков, В. В. |
| Опубликовано: | Фрязино , 2012 |
| Физические характеристики: |
25 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||