|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000764443 |
| 005 |
20120508143211.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120306d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.04 Физическая электроника
$f Песков Вадим Вячеславович
$g [Фрязинский филиал, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Фрязино
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23—25
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2289608
$a НАНОМАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33920
$a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.04
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5002347
$a Песков
$b В. В.
$g Вадим Вячеславович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120306
$g psbo
|
