Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Песков Вадим Вячеславович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//129935(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Песков, В. В.
Опубликовано: Фрязино , 2012
Физические характеристики: 25 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000764443
005 20120508143211.0
100 # # $a 20120306d2012 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.04 Физическая электроника  $f Песков Вадим Вячеславович  $g [Фрязинский филиал, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН] 
210 # # $a Фрязино  $d 2012 
215 # # $a 25 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 23—25 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2289608  $a НАНОМАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33920  $a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23671  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.09.48  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar5002347  $a Песков  $b В. В.  $g Вадим Вячеславович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120306  $g psbo