|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000725714 |
| 005 |
20120206134257.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20111213d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника
$f Комлев Андрей Евгеньевич
$g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15—16 (24 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23812
$a ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1756760
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32908
$a ТАНТАЛ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2448302
$a ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1610018
$a ПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27459
$a РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643528
$a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2644768
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2764600
$a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.23
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.20.15
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.09.03
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.02
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar4687520
$a Комлев
$b А. Е.
$g Андрей Евгеньевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20111213
$g psbo
|
