Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника / Комлев Андрей Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Комлев, А. Е. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2011 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||