Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Уваров Андрей Анатольевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Уваров, А. А. |
| Published: | Санкт-Петербург , 2011 |
| Physical Description: |
18 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||