Многокоординатная система перемещений на основе сегментного кольцевого привода прямого действия для оборудования микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 28.06.11: утверждена 28.09.11 / Ареби Мажед Али
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ареби, М. А. (род. 1968) |
| Опубликовано: | Минск , 2011 |
| Физические характеристики: |
183 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||