Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Мустафаев Арслан Гасанович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Мустафаев, А. Г. |
| Publié: | Новочеркасск , 2011 |
| Description matérielle: |
31, [1] с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||