Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Мустафаев Арслан Гасанович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//116730(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мустафаев, А. Г.
Опубликовано: Новочеркасск , 2011
Физические характеристики: 31, [1] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//116730(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:89 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал