Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Мустафаев Арслан Гасанович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Мустафаев, А. Г. |
| Апублікавана: | Новочеркасск , 2011 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
31, [1] с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||