Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 01.04.01 / Ковалев Виталий Иванович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ковалев, В. И. |
| Опубликовано: | Фрязино , 2011 |
| Физические характеристики: |
33 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||