Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Коломийцев Алексей Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//114455(039),
格式: Авторефераты диссертаций
主要作者: Коломийцев, А. С.
出版: Таганрог , 2011
實物描述: 23 с. : ил.
語言: Русский
主題:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 可用  預訂

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//114455(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:89 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал