
Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Коломийцев Алексей Сергеевич
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Коломийцев, А. С. |
出版: | Таганрог , 2011 |
實物描述: |
23 с. : ил.
|
語言: | Русский |
主題: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|