Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Коломийцев Алексей Сергеевич

Zapisane w:
Шифр документа: 2//114455(039),
Format: Авторефераты диссертаций
1. autor: Коломийцев, А. С.
Wydane: Таганрог , 2011
Opis fizyczny: 23 с. : ил.
Język: Русский
Hasła przedmiotowe:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Dostępne  Zamów

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//114455(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:89 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал