
Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Коломийцев Алексей Сергеевич
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Коломийцев, А. С. |
Wydane: | Таганрог , 2011 |
Opis fizyczny: |
23 с. : ил.
|
Język: | Русский |
Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|