Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Коломийцев Алексей Сергеевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Коломийцев, А. С. |
| Publicado: | Таганрог , 2011 |
| Descripción Física: |
23 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||