Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.07 / Филимонова Нина Ивановна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//113687(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Филимонова, Н. И.
Опубликовано: Томск , 2011
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000683618
005 20110818134544.0
100 # # $a 20110712d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике"  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 01.04.07  $f Филимонова Нина Ивановна  $g [Новосибирский государственный технический университет] 
210 # # $a Томск  $d 2011 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—22 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2101994  $a ПРИПОВЕРХНОСТНЫЕ СЛОИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2282245  $a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685025  $a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39620  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18853  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1718776  $a ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1658634  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar4310119  $a Филимонова  $b Н. И.  $g Нина Ивановна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110712  $g psbo