Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.07 / Филимонова Нина Ивановна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//113687(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Филимонова, Н. И.
Опубликовано: Томск , 2011
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ
ПРИПОВЕРХНОСТНЫЕ СЛОИ
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//113687(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:89 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал

Схожие документы