Разработка нанокомпозитных структур в системе Si/SiO2 для формирования элементов устройств вычислительной техники и систем управления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.05 ; 01.04.10 / Стройков Илья Игоревич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Стройков, И. И. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2011 |
| Физические характеристики: |
16 с., включая обложку : ил
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||