Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.07 / Никаноров Олег Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//111996(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Никаноров, О. В.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2011
Физические характеристики: 24 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000677833
005 20110705163020.0
100 # # $a 20110623d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.11.07  $f Никаноров Олег Викторович  $g Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2011 
215 # # $a 24 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 23—24 (6 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21831  $a ОПТИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21869  $a ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52020  $a ГОЛОГРАММЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82499  $a ПРОЕКТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2900224  $a ГЮЙГЕНСА ПРИНЦИП  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15689  $a ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52040  $a ДИФРАКЦИОННЫЕ РЕШЕТКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.11.07  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.31.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.37.35  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.37.29  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $a Никаноров  $b О. В.  $g Олег Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110623  $g psbo