|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000677833 |
005 |
20110705163020.0 |
100 |
# |
# |
$a 20110623d2011 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.11.07
$f Никаноров Олег Викторович
$g Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
|
210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2011
|
215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23—24 (6 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21831
$a ОПТИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21869
$a ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52020
$a ГОЛОГРАММЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82499
$a ПРОЕКТОРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2900224
$a ГЮЙГЕНСА ПРИНЦИП
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15689
$a ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52040
$a ДИФРАКЦИОННЫЕ РЕШЕТКИ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 05.11.07
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 29.31.33
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 47.37.35
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 47.37.29
$2 rugasnti
$v 6
|
700 |
# |
1 |
$a Никаноров
$b О. В.
$g Олег Викторович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20110623
$g psbo
|