Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.07 / Никаноров Олег Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Никаноров, О. В. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2011 |
| Физические характеристики: |
24 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||