Математическое моделирование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.18 / Чернов Павел Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//111491(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Чернов, П. С.
Опубликовано: Пенза , 2011
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000674563
005 20110701142747.0
100 # # $a 20110614d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Математическое моделирование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.13.18  $f Чернов Павел Сергеевич  $g [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет"] 
210 # # $a Пенза  $d 2011 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18—22 (36 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3352548  $a НАНОСИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34173  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23985  $a ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.13.18  $2 oksvnk 
686 # # $a 59.31.71  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.03.05  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.03.09  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.01.77  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $a Чернов  $b П. С.  $g Павел Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110614  $g psbo