Математическое моделирование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.18 / Чернов Павел Сергеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Чернов, П. С. |
Опубликовано: | Пенза , 2011 |
Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|