Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лабораторный практикум: учебно-методическое пособие для студентов учреждений, обеспечивающих получение высшего образования по специальностям "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и "Квантовые информационные системы" / Д. А. Котов, Ю. А. Родионов
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Котов, Д. А. |
| Wydane: | Минск : БГУИР , 2011 |
| Opis fizyczny: |
43, [1] с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||