Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лабораторный практикум: учебно-методическое пособие для студентов учреждений, обеспечивающих получение высшего образования по специальностям "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и "Квантовые информационные системы" / Д. А. Котов, Ю. А. Родионов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Котов, Д. А. |
| Опубликовано: | Минск : БГУИР , 2011 |
| Физические характеристики: |
43, [1] с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||