|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000660236 |
| 005 |
20110513153329.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20110504d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Системы управления технологическими режимами магнетронного нанесения тензорезистивных пленок
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.11.16 ; 05.11.14
$f Тимаков Сергей Владимирович
$g [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет", Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Пенза
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 18—20 (19 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33306
$a ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33308
$a ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar57386
$a РЕЗИСТИВНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643528
$a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33914
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25745
$a ПРОГРАММНОЕ УПРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1801
$a АДАПТИВНОЕ УПРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.16
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.14
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.09.37
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.59.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Тимаков
$b С. В.
$g Сергей Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20110504
$g psbo
|
