Системы управления технологическими режимами магнетронного нанесения тензорезистивных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.16 ; 05.11.14 / Тимаков Сергей Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тимаков, С. В. |
| Опубликовано: | Пенза , 2011 |
| Физические характеристики: |
20 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||