|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000644112 |
| 005 |
20220412162930.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20110317d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Серегин Дмитрий Сергеевич
$g [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет)"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—21 (17 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18296
$a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4025895
$a ПОРИСТЫЕ ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1756760
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29520
$a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2755678
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ РАСТВОРОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2714522
$a ЦИРКОНАТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3171093
$a ТИТАНАТ СВИНЦА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a метил-модифицированные силикаты
|
| 610 |
0 |
# |
$a метыл-мадыфікаваныя сілікаты
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.11.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$a Серегин
$b Д. С.
$g Дмитрий Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20110317
$g psbo
|
