Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Серегин Дмитрий Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Серегин, Д. С. |
| Опубликовано: | Москва , 2011 |
| Физические характеристики: |
21 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||