Формирование и свойства водородсодержащих доноров в субмикронных слоях кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10: защищена 01.10.10: утверждена 24.11.10 / Цвырко Виктор Геннадьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//2677(039), #32Н//161172CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Цвырко, В. Г.
Опубликовано: Минск , 2010
Физические характеристики: 147, [1] л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ЭПИТАКСИЯ (физ.)
ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ (хим.)
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ВОДОРОДНЫЕ ИОНЫ
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000609913
005 20140827122638.9
100 # # $a 20101222h20102010k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Формирование и свойства водородсодержащих доноров в субмикронных слоях кремния  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $e защищена 01.10.10  $e утверждена 24.11.10  $f Цвырко Виктор Геннадьевич  $g научный руководитель Покотило Ю. М.  $g Белорусский государственный университет 
210 # # $a Минск  $d 2010 
215 # # $a 147, [1] л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 138—147 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000544977 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2351267  $a ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar59672  $a ВОДОРОДНЫЕ ИОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592.3:661.681:621.793.18(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 669.782.046.516.2-15(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.17  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar1727011  $a Цвырко  $b В. Г.  $g Виктор Геннадьевич  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100831  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer/?markID=BY-NLB-br0000609913&fileID=5855825 

Схожие документы