Формирование и свойства водородсодержащих доноров в субмикронных слоях кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10: защищена 01.10.10: утверждена 24.11.10 / Цвырко Виктор Геннадьевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Цвырко, В. Г. |
Опубликовано: | Минск , 2010 |
Физические характеристики: |
147, [1] л. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|