|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000603568 |
| 005 |
20110113111918.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20101210d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.09.03
$f Нечаев Михаил Анатольевич
$g [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—20 (10 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82800
$a ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23653
$a ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643528
$a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar61074
$a МАГНЕТРОННЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30362
$a СКАНИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2272493
$a РЕГУЛИРУЕМЫЕ ЭЛЕКТРОПРИВОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30528
$a СЛЕДЯЩИЕ ПРИВОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11464
$a ИМИТАЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.09.03
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Нечаев
$b М. А.
$g Михаил Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20101210
$g psbo
|
