Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.09.03 / Нечаев Михаил Анатольевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Нечаев, М. А. |
| Опубликовано: | Томск , 2010 |
| Физические характеристики: |
20 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||