Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01: защищена 24.06.10: утверждена 13.10.10 / Плебанович Владимир Иванович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Плебанович, В. И. |
| Опубликовано: | Минск , 2009 |
| Физические характеристики: |
150 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||