Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Беспалов Алексей Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//94431(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Беспалов, А. В.
Опубликовано: Москва , 2010
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ
НИТРИД ГАЛЛИЯ
ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ
ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ ДЕФЕКТЫ
ИНЖЕНЕРИЯ ДЕФЕКТОВ
ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ
ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ПОСЛОЙНОЕ АТОМНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ОКСИД АЛЮМИНИЯ
МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
НАНОСТРУКТУРЫ
МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000566618
005 20220412163514.0
100 # # $a 20101013d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Беспалов Алексей Викторович  $g [Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет)] 
210 # # $a Москва  $d 2010 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 (14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1611433  $a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685025  $a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39620  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3251604  $a НИТРИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23914  $a ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3349736  $a ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3255470  $a ИНЖЕНЕРИЯ ДЕФЕКТОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38082  $a ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12174  $a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5236579  $a ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2645429  $a ПОСЛОЙНОЕ АТОМНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78052  $a ОКСИД АЛЮМИНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3170564  $a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $a Беспалов  $b А. В.  $g Алексей Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20101013  $g psbo 

Схожие документы