Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Беспалов Алексей Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Беспалов, А. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2010 |
| Физические характеристики: |
18 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||