Исследование и оптимизация источников вакуумного ультрафиолетового излучения на основе плазмы инертных газов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 01.04.05 / Зверева Галина Николаевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зверева, Г. Н. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2010 |
| Физические характеристики: |
30 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||