Измерение микро- и нанорельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.05 / Сысоев Евгений Владимирович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Сысоев, Е. В. |
Опубликовано: | Новосибирск , 2010 |
Физические характеристики: |
18, [1] с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|