Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Плебанович Владимир Иванович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Плебанович, В. И. |
| Опубликовано: | Минск , 2009 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||