Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Плебанович Владимир Иванович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Плебанович, В. И. |
| Wydane: | Минск , 2009 |
| Opis fizyczny: |
22 с. : ил.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||