|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000505748 |
| 005 |
20180215134938.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20100519d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e 01.04.01
$f Колпаков Всеволод Анатольевич
$g [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева", Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Самара
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 26—32 (54 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9579
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar53272
$a ОПТИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6836
$a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6834
$a ГАЗОРАЗРЯДНЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13179776
$a СЕЛЕКТИВНОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.43
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.51
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-648608
$a Колпаков
$b В. А.
$g Всеволод Анатольевич
$c доктор физико-математических наук
$f род. 1978
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100519
$g psbo
|
