Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Колпаков, В. А. (род. 1978) |
| Опубликовано: | Самара , 2010 |
| Физические характеристики: |
32 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||