Поток высокочастотной плазмы пониженного давления в процессах взаимодействия с поверхностью материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.02.05 / Шарафеев Рустем Фаридович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шарафеев, Р. Ф. |
| Опубликовано: | Казань , 2010 |
| Физические характеристики: |
19, [1] с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||