Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01: защищена 19.11.09: утверждена 03.02.10 / Коробко Александра Олеговна
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Коробко, А. О. |
Опубликовано: | Минск , 2009 |
Физические характеристики: |
138 л. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|