Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01: защищена 19.11.09: утверждена 03.02.10 / Коробко Александра Олеговна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коробко, А. О. |
| Опубликовано: | Минск , 2009 |
| Физические характеристики: |
138 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||